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AAT's Information von Firma Klocke Nanotechnik (Deutschland)
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Lezte Ànderung : März 2007 (Erneuert teilweise in Juli 2008)
Der spezielle große Nanomotor geliefert an den Labor eines Hauptelektrischeherstellers und der XYZ Manipulator an eine Universität
Wir haben den Auftrag des großen Nanomotors mit einem speziellen PID Bausatz von einem Labor des Hauptelectrischeherstellers bekommen, um die Z-Achse seines eigenen STMs zu kontrollieren, und wir haben ihn im Februar geliefert. Das Nanomanipulator ist ein Produkt von Nanorobotics Serie, die von Firma Klocke Nanotechnik entwickelt wird. eine Nanorobotics Serie baut eine Brüke zwischen Nano-Technologie und der klassische mechanische Maschinenbau. Diese Produkte kombinieren die Vorteile beider Technologien: die Bewegung ohne Spiel in einer Mechanik mit der Auflösung eines Millionster eines Millimeters und die Belastbarkeit von Kilogramm mit dem Zentimetern Hub. Die Ausbreitung der einzigartigen Nanorobotics Serien erlaubte, mehr als 200 Bestandteile für Stand-alone Instrumente zu bauen. Sie sind: Dimensionales SEM/FIB, e-beam Lithografie Tische, Wafer Probing Systeme, SEM Feld-Emission, Automatische TEM Lamelle-Bewältigung, SPM Lithografer, Mikromontage Startensatz und so weiter. Natürlich werden diese Produkte für die anderen Anwendungen benutzt und realisiert, aber sie sind zu einem bestimmten ebenen vertraulich, wenn die Aufsätze für diese neue Anwendungen bekannt nicht machen.
In Japan wurden die Nanomotors selbst an Labors von Staatsorgane und Universitäten für Einzel-Anwendung mit den Elektron-Mikroskopen benutzt. Die Nanomanipulators lieferte zu nur den Japanischen Herstellungen der Elektron-Mikroskope. Aber dieses Mal haben wir das XYZ-Nanomanipulator der Nanorobotics Serie zu einer Universität im März geliefert. Wir werden aufpassen, seine Anwendung zu sehen. Die 3 Tische können als einen XYZ-Manipulator wie das obere rechte Foto montiert worden.
  
Neue eröffnete Webseite "The 3D-Nanofinger" von der Firma Klocke nanotechnik
 Homepage der Firma Klocke Nanotechnik
Homepage über den 3d-Nanofinger der Firma Klocke Nanotechnik
Lezte Ànderung : Dezember 2003
Besuchen zur Firma Klocke nanotechnik
Am Ende November besuchten wir 4 Firmen in Deutschland, Klocke Nanotechnik, Wilh. Lambrecht GmbH, Kappa opto-electronics GmbH and nanotools GmbH. Wir hatten sinnvolle Treffen mit ihnen und wir wollen diese Erfahrungen benutzen, um Kunden zu unterstüzen.
Klocke Nanotechnik : In Japan gibt es keine passenden nanotechnology Elemente, die in einem Elektron-Mikroskop unter der niedrigen Temperatur laufen, dann werden die Nanomotors als eins der Manipulatoren von einigen Forschern benutzt. Jedoch kann das Nanomotor® in einigen Fällen nicht leicht angewendet werden und dann braucht diese Anwendung ein Know-how. Zu diesem Zweck besuchten wir Klocke Nanotechnik, das in dem Industrie-Gebiet neben der Belgischen Grenze und dem Ausgang der Autobahn im Vorort von Aachen liegt.
 An der Vorderseite des Klocke Nanotrchnik's Ausstellungsplakates in der Nähe des Haupteinganges; Von links nach rechts :
Herr Dr. Volker Klocke
Herr Dr. Andreas Rosenberger
Herr Dipl. Ing. Jürgen Königs
Nach Herrn Dr. Klocke bekommt die Anwendung seines NMT-Schlittens größeren Markt. Es ist, weil der NMT-Schlitten leicht benutzt wird. Und wir haben einige NMT-Schlitten mit PMS (Positionierung-Mess-System) unter dem letzten Fabrik-Abnahme gesehen. Diese NMT-Schlitten können in jeder Position, senkrecht und/oder waggerecht benutzt werden, und sie sind mit feinem oder grobem Vorschub gefahren. Die Bewegung ist sehr bequem.
Wir waren einige Bemerkungen während der Bewegung des Nanomotors gelehrt und bekommen die Information über der Lebenszeit des Nanomotor. Wir verstehen, daß die System-Verkäufe die Priorität über den Verkäffen des Nanomotors selbst hat, aber wir erzählten Herrn Dr. Klocke, daß wir auch Forschern helfen sollen wenn sie die Probleme in Nano-technologie haben.
 Falls Sie englische Technische Information (über die Lebebsdauer von Nanomotor) benutzt wird, bitte fragen Sie uns durch E-mail !
Homepage von der Firma Klocke Nanotechnik
Lezte Ànderung : Spetember 2003
Klocke Nanotechnik's Produkteliste
"Der Schritt von der Mikrotechnologie zu der Nanotechnologie erfordert mehr als eine Reduzierung von Grösse durch einen Faktor eines Tausend. Falls Sie genau in dem Nano-Welt bewegen wollen, führen Sie durch den vervollkommnenden bewährten Techniken zu keinem Erfolg." ..... von Handelsblatt
Für Forscher, die für Nanotechnologie und Biotechnologie interessieren ...
Im Bereich der Nanotechnologie und Biotechnologie müssen Mikro-Forschungobjekte gesehen werden. Falls Sie irgendwelches Elektronenmikroskop haben, wird der Nanomanipulator (kompatibel mit Ultra-Hoch-Vakuum(UHV) und Ultra-Tieftemperatur(ULT)) hilfreich zu Ihnen sein. Dann wird das Elektronenmikroskop von analysierender Einheit zur Bearbeitungseinheit der Materialien verändert werden. Falls Sie ein Elektronenmikroskop nicht haben, sondern Sie Mikro-Forschungobjekte auf einen Gedanken haben, wenden Sie sich uns um Mikromontage und Mikro Produktion Systeme bitte. Sicherlich werden wir Ihnen helfen.
Wenn Sie zu erst über den Nanomotor verstehen möchten, bitte klicken Sie hier !
Firma Klocke Nanotechnik in Deutschland standardisiert ihren "Komponenten" für Nanorobotik, die aus seinem elementaren und patentierten Nanomotor® bestehen. Die "Systeme" sind Nanorobotik Produkte und bestehen aus Nanorobotik Komponenten. Alle Nanorobotik Produkte werden von dem Network Kontrollgerät (NWC) gesteuert. Mit diesen Nanorobotik ProduKte gibt es mehrere Lösungen und Anwendungen für Kundenbedarfe.
Produkte Zusammenfassung
| Komponenten | Grundteil "Nanomotor"
Grundteil "Tisch"
Grundteil "Greifer"
Grundteil "Manipulator"
Grundteil "Mini-STM" |
| Nanorobotik | Grundteil "NMT Tisch Modul"
"Positioniertisch"
Grundteil "NMG Greifer"
"XYZ Manipulator"
"Manipulator mit Kraft-Feedback" |
| Elektronik | Grundteil "Network Kontrollgerät (NWC)"
Grundteil "Hochspannung Verstärker" |
| Mikro Produktion Systeme | "Mikro Montagestation"
"Mikro Produktion System" |
| Rastersondenmikroskopie(SPM) | "Rastersondenköpfe"
"Mini-XYZ Manipulator Rastersondenköpfe"
"Nano Hammer; Rastersondenmikroskop (SPM) als Werkzeug" |
| Nanorobotik für Elktronenmikroskopie | "Nanorobotik Manipulator"
"Wafer Probing Manipulator"
"Bearbeitungs-Manipulator"
"Manipulator für Präparation von TEM-Proben" |
| Komponenten |
Grundteil "Nanomotor"
 | 3 Standard Typen
 Kleiner Nanomotor (NMS)
Langer Nanomotor (NML)
Großer Nanomotor (NMB)
Optionen
1. zusätzliches zweiten Trägerrohr
2. Bedingungen für Non-magnetic, UHV(10-12hP), ULT(4.4K) usw
3. innere Isolierung für einem elektrischen Trägerrohr
4. STM Function wie Kabel für die Tunnelstrom
kombinieren mit den oberen Bedingungen.
Nanomotor |
Grundteil "Tisch"
 | Es gibt NMT Tische von Nanorobotik, aber die Bedarfe sind robustless und kleiner Raum. Dieser Tisch mit der offenen Bauform ist geeignet und wird durch 2 parallele kleine Nanomotoren angetrieben. Die Maße dieses Tisches sind 45x45x5.5mm und 5mm Hub. Wenn mit großen Nanomotoren, die Maße sind 67x67x9mm und 10mm Hub. Wenn kombniert mit 2 Tische, dann gibt es freien Raum von 20x20mm in der Mitte dieses Tisches. Dieser Tisch ist als XY Tisch des Transmissions-lichtmikroskop verwandt. Carl Zeiss verwendet diesen Tisch für seinen "Axiovert" Materialmikroskop. |
Grundteil "Greifer"
 | Eine Mikromontage wird nur mit der Benutzung genauer Greifer realisiert. Die Griffkräfte werden sehr feiner und stärker, wenn ein kleiner Teil gegriffen wird. Ein Planargreifer wird standardisiert und es gibt 2 Arten von Greifern; NMG-S kombiniert kleinen Nanomotor mit NMT Tisch und NMG-B kombiniert großen Nanomotor mit NMT Tisch. Dieser ist 0.7mm Hub mit 20mN der Griffkraft, jener ist 1.5mm Hub mit 150mN der Griffkraft.
Microgreifer |
Grundteil "Manipulator"
 | Der Nanomanipulator besteht aus einem Kipptisch, der von 4 kleinen Nanomotoren mit einer mechanischen Kopplung angetrieben wird, und dem zentralen grossen Nanomotor für Z-Hub. Die Auflösung ist 1nm mit 5x5x19mm Positionierbereich. Der Außendurchmesser des Gehäuses ist 25mm und die Länge ist 48mm.
Nanomanipulator
SEM-Manipulatoren |
Grundteil "Mini-STM"
 | Das ist ein kleinste und verkäufliche Rastertunnelmikroskop (STM) mit Atomare Präzision in der Welt. Sein Herz wird von dem Nanomotor gebildet. Die Probe wird oben auf 3 Kugeln gelegt, die auf dem Piezo Rohrscanner geklebt werden. Das komplette Mini-STM passt unter einem Fingerhut und ist daher sehr unempfindlich gegen Außsenvibrationen. Keine zusätzliche Dämpfungssysteme sind gebraucht.
Rastersondenmikroskope (SPM) |
| Nanorobotik |
Grundteil "NMT Tisch Modul"
"Positioniertisch"
 | Ein neuer motorisierter Tisch, der von Klocke Nanotechnik entwickelt wird, erlaubt großen Hub mit kleinem Volumen. Die NMT Tisch Moduln werden von dem kleinsten genauen Nanomotor angetrieben. Die Belastung ist bis 2kg, und der einigen cm-Hub mit 2nm-Präzision kann bewegen. Sie sind viele Typen, ist eins eine horizontale Bewegung mit 10-70mm Hub, anderer ist eine senkrechte Bewegung mit 10-20mm Hub.
NMT Tisch Moduln
Unter Benutzung von diesen NMT Tisch Moduln, werden die Positioniertische ohne Umkehrspiel gemacht und die Bewegungen des Manipulators in vielen Freiheitsgraden ausführen. In dem meisten dieser NMT Tisch Moduln können die Positioniermesssysteme eingeschlossen werden. Die Auflösung des Positioniersensores ist besser als 10nm. Unter Benutzung von breitem Bereich von Optionen als Greifer usw., erweitern die Anwengungen aller NMT Tisch Moduln von linearer Bewegung zu Mikromontagestation.
Nm-Präzision Positionierung (Schneeberger2000) |
Grundteil "NMG Greifer"
 | Der NMG Greifer werden mit NMT Tisch Moduln und Greifer kombiniert. Sie werden immer mit einem Manipulator und/oder einem Positioniertisch integriert, und benutzten sie oft in einer Montagestation. Der Greifer wird von dem Nanomotor angetrieben und sie sind durch die gleiche Elektronik und Software gesteuert.
Nanorobotik für Mikro Produktion Technologie |
"XYZ Manipulator"
 | Der XYZ Manipulator wird von 3 kleinen linearen Positioniertische gebildet und bewegt senkrecht jede Achse unabhängig. Es gibt viele Hübe kombiniert mit den anderen NMT Tisch Moduln. Das Positioniermesssystem mit 10nm Auflösung kann auch integriert werden und die absoluten Werte können angezeigt werden.
SEM-Manipulatoren |
"Manipulator mit
Kraft-Feedback"
 | Die Einheit kombniert mit einem Manipulationtisch von 3 NMT Tisch Moduln für drei dimensionale Bewegung, einer Spitze, einem kalibrierte Kraftsensor für Messen der angewendeten Kraft und einem Steuerknüppel mit Kraft-Feedback. Falls der Manipulationtisch im Grobschritt-Modus benutzt wird, ist es möglich, sehr hohen Druck zu entstehen. Dann dieser Druck kann sogar Abdrucke in Diamant-Oberflächen machen.
Nanomanipulation mit Kraft-Feedback |
| Electronik |
Grundteil
"Network Kontrollgeräte (NWC)"
Grundteil
"Hochspannung Verstärker"
 | Für Kontrollieren des Nanomotors und Nanomotor-basierte Produkte ist der Network Kontrollgeräte (NWC) available per Ethernet basierte Lösungen. Der NWC kann 4 äußerliche Nanomotoren unter Benutzung von einer Standard Software von Klocke Nanotechnik kontrollieren, und dann gibt es einen Eingang für Positioniermesssysteme mit Option.
Der Hochspannung Verstärker treibt den Nanomotor unter ULT (4.4K) an und er ist ideal für SPM Anwendungen.
Electronik für Nanomotor Kontrolle |
Mikro
Produktion
Systeme |
"Mikromontagestation"
 | Diese Station wird für Zusammenbau von Terahertz Frequenz Mischer benutzt. Die gesamte Dimensionen des fusionierten Quarz Mischer Substrates ist 80µm breit x 35µm Höhe und 2000µm lang. Der angetriebenen Nanomotor mit einem Kraftsensor kann die Probe empfindlich greifen.
Mikromontage mit nm-Auflösung
Montage und Kalibrierung mit nm-Präzision |
"Kleiner XY Tisch
Mikro Produktion System"
"Großer XY Tisch
MiKro Poduktion System"
| Klocke Nanotechinik und seine Partner entwickeln ein Mikro Produktion System, die zwischen Nanotechnologie und dem klassischen mechanischen Maschinenbau überbrückt. Es kombiniert die Vorteile beider Technologien: die spielfreie Bewegung mit nm-Auflösung und die Belastbarkeit bis einige kg mit cm-Hub. Die zusammengebaute Nanorobotik Moduln bieten die Bewegungen in vielen Freiheitsgraden und die Wiederholbarkeit besser als 50nm, der Wert weit entfernt von µm-Wert klassischer Produktion Systeme. Andere Optionen wie ein Klebstoffverteiler werden zu einer 4 Achse Mikromontagestation hinzugefügt, dann ist ein Mikro Produktion System gemacht. Es gibt 2 Arten von Systemen; mit kleiner XY Tisch von 100x100mm und mit großer XY Tisch von 350x350mm. Weiteres Addieren des Vision (Videoüberwachung) Systemes ist die Mustererkennung auch gemacht. Das Mikro Produktion System, das mit dem Nanorobotik Moduln kombiniert wird, wird führen, neuen hohen Produktionsprozeß zu entwickeln.
Nanorobotik für Mikro Produktion Technologie
Mikro Kleben
Vision System: Mustererkennung und Qualität Kontrolle |
Raster-
sonden-
mikroskopie
(SPM) |
"Rastersondenkopf für
Electronenmikroskope"
"Mini-XYZ Manipulator
Rastersondenkopf für
Electronenmikroskope"
 | Die Rastersondenköpfe stehen verfügbar als den Grundteil von Rastersondenmikroskope (SPM) wie STM, AFM, MO-SNOM usw. Der Piezo Rohrscanner ist für XY Abtastung von 20x20µm und der Nanomotor integriert im Rohrscanner wird für die Z-Annäherung von dem Sensor oder dem Werkzeug zu der Probe benutzt. Der Z-Hub ist 20mm mit sub-nanometer Auflösung in feinem einstellendem Bereich von 1µm. Dieser Rastersondenkopf ist in der Mikroskop Kammer benutzt, und jetzt erstreckt die Funktion sich nicht nur analytische Vorrichtung sondern auch als ein Werkzeug für Modifizieren von Oberflächen.
Rastersondenköpfe
Dieser Mini-XYZ Manipulator kombiniert mit einem XY Tisch von NMT Tisch Moduln und dem Nanomotor für Z-Bewegung. Diese Einheit wird in ein Rohr von 30mm Durchmesser integriert und die XY-Bewegung ist 4x4mm, dann er wird für ULT (4.4K) Anwendung entwickelt. |
"Nano-Hammer
Das SPM als Werkzeug"
 | Das Rastersondenmikroskop (SPM) kann Probenoberflächen nicht nur untersuchen, sondern kann seine Spitze auch benutzt werden, um die Oberfläche zu modifizieren und die Nano-Strukturen auf der Oberfläche zu verarbeiten. Die Spitze des Standard Cantilevers, die auf einem flexibelen Arm sitzt, kann nur sehr kleine Kraft anwenden. Ein Piezo Rohrscanner führt die Bewegung in XY Richtung, die parallel zu der Oberfläche ist. Die Z-Bewegung der Spitze wird von dem Nanomotor integriert im Rohrscanner realisiert. Der Probehalter wird von 2 Klammern oben auf einem kleinen Nanorobotics XY Tisch befestigt. Wenn die Spitze gekoppelt mit dem Shearkraftsensor die Probenoberfläche findet, dann wird der empfindliche Sensor mit der Bewegung der Spitze nach die Probenoberfläche nicht gekoppelt. Die maximale Kraft eines typischen Cantilevers ist ungefähr 0.3mN. Die Shearkraft dieses SPMs wird von dem Z-Nanomotor zwischen 0.3-0.35N definiert. Deshalb ist die maximale Kraft ist tausendfach stärker als die Kraft eines typischen Cantilevers.
Nano-Hammer; Rastersondenmikroskop (SPM) |
Nanorobotik
für
Elektronen-
mikoscopie |
"Nanorobotik
Manipulator"
 | Die Elektronenmikroskope und/oder Fokusierte-Ionenstrahl-Mikroskope (FIB) haben breiten Anwendungen. Die Nanorobotik Manipulatoren von Klocke Nanotechinik sollen in diesem Anwendungsbereich und Präzisionen einfügen. Für einen wirksamen Gebrauch des Manipulators steht ein ausreichender Satz von Optionen zur Verfügung. Falls es einen unbenutzten Flansch gibt, auch wenn es keinen genug Raum in einer Mikroskop Kammer gibt und Sie Probleme haben, beraten Sie uns bitte. Wir können Ihnen eine Lösung von einem Teil system zu vollst%#228ndigem System von Anfang an anbieten.
Nanorobotik Manipulators für "jedes" Mikroskop
Nanorobotik Manipulator |
"Wafer Probing
Manipulator"
"Die leitende Cantilever-Spitze
berührt eine Linie von Wafer
 | Die echte kleine Wafer-Strukturen können nur in 2 Typen von Elektronenmikroskopen beobachtet werden. Diese sind das erweiterte AFM für Wafer Prober oder das SEM mit Wafer Prober. Jedoch kann das AFM Strukturen nicht lösen, die nur 2-dimensional sind. Ein AFM hat einen typischen maximalen Abrastern-Bereich von ungefähr 20x20µm und kann Stunden nehmen, um eine bestimmte Position zu finden. Das SEM kann von der cm2-Größe zur 10nm2-Größe innerhalb einiger Sekunde das Zoom machen. Und jede Art von Strukturen sind sichtbar in einem SEM. Deshalb Wafer Prober in einem SEM untersucht, ist die beste Lösung. Ein High-End SEM ist nicht erfordert, irgendwelcher (älter) SEM kann für diese Anwendung benutzt werden.
Wafer Probing System für Electronenmicroscope
Nanorobotik Manipulator als Wafer Prober |
"Bearbeitungs
Manipulator"
 | Der Elektronenmikroskop Hersteller, LEO in Deutschland (Carl Zeiss Gruppe), baute den kompakten Nanomanipulator von Klocke Nanotechnik in sein SEM ein und erstreckt Sie sich das SEM ein analytisches Instrument zu einem materiellen Brarbeitungssystem. Innerhalb der Mikroskop Kammer werden der Nanomanipulator auf einem zusätlichen Flansch auf der Tür gestiegen, und der Manipulator weist zu die Probe. Falls diese Tür geschlossen ist, werden dieses SEM und der Nanomanipulator ein kräftiges Werkzeug als eine Werkbank.
Bearbeitung im LEO Electronenmikroskop... |
"Manipulator für Präparation
TEM-Proben"
"Heben der radierten Lamelle
nach Brechen mit
dem Nanomanipulator"
 | Der Defekt von sub-µm des 300mm Wafers macht Probleme in der Halbleiterindustrie. Die Oberflächenmessung eines Wafers durch das SEM erreicht die Grenze, und die Konstruktionsfehler sollen von einem Transmissionelektronenmikroskop (TEM) mit hoher Auflösung untersucht werden. Das TEM erfordert, eine sehr kleine und dünne Lamelle aus dem defekten Gebiet zu schneiden. Jedoch werden TEM-Proben mit den spezialen komplizierten Bearbeitunstechniken nur von Spezialist gemacht und eine kleine Elektron-transparent lamelle muß von der Wafer oder LSI ausgeschnitten werden. Neulich ist es passend, ein Fokusierte-Ionenstrahl-Mikroskope (FIB) zu benutzen, daß das FIB gleichzeitig eine Lamelle vom µm-Bereich durch den Fokusierte-Ionenstrahl während der Oberflächenuntersuchung abschneidet. Und danach bricht sie der Nanomanipulator und hebt sie in den Proben-Halter.
Manipulator für Präparation von TEM-Proben |
Die oben-erwähnte- und unterschtrichene Materialien sind PDF-Dateien übersetzt ins Japanishe, und bitte fragen Sie uns per E-Mail mit dem Titel !
Falls Sie Fragen um Nanomanipulation im Elektronenmikroskopen haben, ...
Fragen Sie Firma Klocke Nanotechnik von Deutschland auf Englisch order fragen Sie uns bitte.
Wir warten auf Ihren Fragen und wir werden Ihnen eine Lösung geben.
Falls Sie fragen Firma Klocke Nanotechnik auf Deutsch order Englisch, klicken Sie die Marke unten bitte !
Falls Sie fragen uns auf Japanisch, klicken Sie die Marke unten bitte !
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Lezte Ànderung : Juli 2003
Erneuerung von Klocke Nanotechnik's Home Page
Firma Klocke Nanotechnik erneuerte seine Home Page und fügt neue Information und Materialien vom März 2003 hinzu.
"Piezo angetriebene linearen Motor heißt 'Nanomotor', der noch weiter entwickelt wird:
Der Schritt von der Mikrotechnologie zu der Nanotechnologie erfordert mehr als eine Reduzierung von Grösse durch einen Faktor eines Tausend. Falls Sie genau in dem Nano-Welt bewegen wollen, führen Sie durch den vervollkommnenden bewährten Techniken zu keinem Erfolg. ..... von Handelsblatt
Geschäftssegmente
Über zehn Jahren Erfahrung und nach der erfolgreichen Entwicklung anderer kompletter Systeme, bewegte Firma Klocke Naotechnik von ihren ehemaligen Basisprodukte zu dem Geschäftssegment "Bestandteile" und hinzufügte das neue Feld "Systeme". Die Umgestaltung und Ausbreitung ihrer neuen Webseiten schliessen diese Veränderungen ein. Diese Systeme schliessen die Fülle anderer Optionen ein, die hier nur zusammengefaßt werden können. Mehr Information steht zur Verfügung. Und ein neues Geschäftssegment von "Systeme" anbietet vollständige komplette Lösungen und werden die wohlbekannten Nanorobotics und Nanomotor Produkte jetzt in dem Geschäftssegment von "Bestandteile" zusammengefaßt.
von links nach recht : Produkcte vom Bestandteile und Systeme
 
Für Forscher, die für Nanotechnologie und Biotechnologie interessieren ...
Im Bereich der Nanotechnologie und Biotechnologie müssen mikro Forschungobjekte gesehen werden. Falls Sie irgendwelche Elektronmikroskop haben, wird das Nanomanipulator (kompatibel mit Ultra-Hoch-Vakuum(UHV) und Ultra-Tieftemperatur(ULT)) hilfreich zu Ihnen sein. Dann wird das Elektronmikroskop zu Berarbeitungseinheit der materialien von analysierender Einheit verändert werden. Falls Sie ein Elektronmikroskop nicht haben, sondern Sie mikro Forschungobjekte auf einen Gedanken haben, wenden Sie sich uns um Mikromontage und Mikro Produktion bitte. Sicherlich werden wir Ihnen helfen.
Lezte Ànderung : Juli 2003
Information und Materialien auf Englisch (PDF-Datei)
Bestandteile (1)Basisprodukte
Nanomotor
The Nanomotor, data sheet
"Atomare Präzision und Millimeter-Hub" (F&M 96).....Generalinformation (auf Deutsch)
"Motion from the Nanoscle World" (MST-news99).....Generalinformation
"Motion from the Nanoscle World" (Springer-verlag 2002).....Generalinformation
Nanorobotics for Micro Production Technology (SPIE 2002).....Generalinformation (einschl. Mikro Produktion), wiederholt(1)
Tische
"Nano-precise Positioning" (Schneeberger 2000).....wiederholt(2)
Sample Stages.....wiederholt(3)
Manipulator
SEM-Manipulators.....wiederholt(4)
The Nanomanipulator
Nanomotors for Liquid Handling (Innovation 99)
Greifer
The Microgripper, data sheet.....wiederholt(5)
STM
Rastersondenmikroskopie (SPM).....wiederholt(6)
Bestandteile (2)Nanorobotics
NMT Positionirtisch
NMT modules, data sheet
"Nano-precise Positioning" (Schneeberger 2000).....wiederholt(2)
Position measurement
Sample Stages.....wiederholt(3)
SEM-Manipulators.....wiederholt(4)
NMG Greifer Moduln
The Micro Gripper, data sheet.....wiederholt(5)
XYZ Manipulator
SEM-Manipulators.....wiederholt(4)
Nanorobotics manipulator as a Wafer prober; Measurements in a Scanning Electron Microscope.....wiederholt(7)
Nanorobotics Manipulators.....wiederholt(8)
Kraft Ruckfütterung Manipulator
Nanomanipulation with Force Feedback
Mikromontagestation
"Microassembly with Nanometer Resolution - Assembly of Terahertz Frequency Mixers" (KOSMA)
Assembly and Calibration with Nanometer-Precision" (Spindler & Hoyer)
Bestandteile (3)Elektronik
NWC Netzwerksteuer
Network Controller (NWC - including Position measurement)
Systeme (1)Mikro Produktin Systeme
Micro Productin System.....Mikro Produktion System
Micro Adhesive Bonding in Products and Service
Vision System; Pattern Recognition and Quality Control
Nanorobotics for Micro Production Technology (SPIE 2002).....Generalinformation (einschl. Mikro Produktion), wiederholt(1)
Systeme (2)Nanorobotics für Electron- and Ion-Mikroskop
Nanorobotics manipulators for "every" Microscope.....Mussehen fur Electronmicroscop
Rastersondenmikroskopie (SPM).....wiederholt(6)
Wafer Probing System for Electron Microscopes
Nanorobotics manipulator as a Wafer prober; Measurements in a Scanning Electron Microscope.....wiederholt(7)
Nanorobotics Manipulators.....wiederholt(8)
Processing material in Electron Microscopes (LEO)
Preparation of TEM-Samples (Fraunhofer)
The SPM as a Tool, The "Nano-Hammer"
Systeme (3)Rastersondenmikroscop (SPM)
Rastersondenmikroskopie (SPM).....wiederholt(6)
Scanning Probe Heads; Summary of Nanomotor driven SPM-Heads
Die oben-erwähnte- und unterschtrichene Materialien sind PDF-Dateien übersetzt ins Japanishe, und bitte fragen Sie uns per E-Mail mit dem Titel !
Referenzen in Japan
Für die generelle Verwendung wird der 'Nanomotor' zu der Graduiertenabteilung der Nagoya Universität geliefert, und für die Elektronmikroskop zu Dem Forschung-Zentrum für Ultra Hohe Spannung Elektronmikroskop von Osaka Universität, Graduiertenabteilung der Tokio Technische Universität, Tokio Universität von Wissenschaft und Nationales Institut für Materielle Wissenschaft geliefert. Einige Anfragen werden von Leuten von Labors, Universitäten und Gesellschaften gemacht, die interessiert an Manipulation in den Elektronmikroskop sind. Das Original Nanomanipulator wurde zu einem optischen Hersteller in Japan vor einigen Jahren auch geliefert.
Lezte Ànderung : Juli 2003
Beschreibung des "Nanomotor®"
Der Nanomotor ist ein patentierter Linearmotor mit atomarer Auflösung. Herr Dr. Klocke und sein Team haben den Nanomotor seit 1992 entwickelt. Einer der ältesten Artikel über diesen Nanomotor und seine Anwendungen wurde im Deutschen Magazin [F&M] 1996 veröffentlicht. Weitere Anwendungen wurden in dem Magazin [MST-Neues 1999] beschrieben, und in 2002 wurde ein neuer Artikel einschliesslich einer kompletten Mikroproduktionsanlage veröffentlicht. Diese enthält eine von Klocke Nanotechnik entwickelte Nanorobotik-Serie.
Es gibt mehrere Typen des Nanomotor. Der Nanomotor kann im UHV (10-11hPa) und bei tiefen Temperaturen LT (4.4k) betrieben werden. Er eignet sich zum Bau von Rastersondenmikroskopen (SPM), denn seine kleinen Abmessungen ermöglichen schwingungsarme Rastersondenköpfe. Der Nanomotor ist auch das Antriebselement für die Nanorobotik-Serie. Die patentierte Verbindung des Nanomotors mit klassischen mechanischen Führungssystemen bietet die Vorteile beider Systeme: die Belastbarkeit eines mechanischen Lagers und die Präzision des Nanomotors. Ein Element der Nanorobotikserie ist der kleinste und präziseste Positioniertisch auf dem Markt, NMT Modul genannt. Im NMT Modul kan man auch das Positionierungmesssystem mit dem geschlossenes Schleifensystem aufbauen. Es gibt auch ein Muster des Positioniertischs. Ein Mikrogreifer der Nanorobotikserie (NMG) in Verbindung mit drei NMT-Modulen ergibt bereits ein kleines Mikromontagesystem höchster Präzision. Viele weitere Ausbaustufen führen zur Mikroproduktionsanlage von Klocke Nanotechnik, der wahrscheinlich genauesten Anlage dieser Art auf dem Markt!
Klocke Nanotechnik bietet komplette Lösungen für Nanorobotik im Bereich der Rasterelektronenmikroskope und Rasterionenmikroskope seit 1998 an. Seit 1999 verkauft LEO (jetzt, Carl Zeiss Gruppe) seine Rasterelektronenmikroskope (SEM) zusammen mit Klocke's Nanomanipulatoren als OEM Produkte, die die Funktion des SEMs um die Materialbearbeitung erweitern. Der Nanomanipulator kann zum Beispiel zur Präparation von TEM-Lamellen verwendet werden. XYZ Manipulatoren, bestehend aus drei NMT Modulen der Nanorobotik-Serie, kann in "allen" SEMs montiert werden. In-situ Wafer Probing Systeme von Klocke Nanotechnik sind der Schlüssel zur Strommessung auf sub-90 nm Strukturen, z.B. mit 3 Mesnadeln innerhalb eines Durchmessers von 150 nm. Dieser Prozess wird im SEM visuellsiert. Die Verwendung von Nanorobotik Manipulatoren im SEM wird in einem Artikel beschrieben.
Der Force-Feedback-Manipulator ist ein weiteres Anwendungsbeispiel, sowie die Oberflächenbearbeitung mit einem "Nano-Hammer", oder das manipulieren kleinster Fluessigkeitsmengen. Nanorobotik-Manipulatoren werden auch für Mikroklebesysteme verwendet, als Mikromontagestand mit nm-Präzision oder als Probentisch im SNOM bis hin zur Verwendung in kompletten Mikrobearbeitungssysteme. Solche Systeme werden im Artikel Nanorobotik für Mikroproduktionstechnnik beschrieben. Die Mikroproduktionsanlagen enthalten u.a. ein Vision System zur Objekterkennung. Die Nanomotoren und Nanorobotik werden von einem Network Controller (NWC) betrieben, welcher per Ethernet vom PC oder Notebook aus gesteuert wird.
Die oben-erwähnte- und unterschtrichene Materialien sind PDF-Dateien übersetzt ins Japanishe, und bitte fragen Sie uns per E-Mail mit dem Titel !
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