アキ・アルテック株式会社情報「ドイツ ナノツールズ社の詳細」


ホームページのトップへお知らせと情報nanotools社の詳細

ドイツnanotoolsナノツールズ社目次
  • 2012年03月 : 商用で来日のnanotools社イルマ社長と東京見物
  • 2011年12月 : 新しくなったHPから独自のnanotools社会社案内及び製品リーフレットまず英語版作成
  • 2011年02月 : naotech 2011にnanotools社イルマ社長来日、さらにHPも新しくなりました
  • 2009年12月 : セミコン・ジャパン2009にnanotools社イルマ社長来日
  • 2008年12月 : セミコン・ジャパン2008のドイツパビリオン内ナノツールズ社小間でのお手伝い
  • 2008年06月 : Veeco社2007年度アプリケーションノートAN99翻訳済み
  • 2007年12月 : セミコン・ジャパン2007のドイツパビリオン内ナノツールズ社小間でのお手伝い
  • 2007年10月 : 10月2日ナノツールズ社はドイツ本社にて創立10周年を祝いました
  • 2006年12月 : セミコン・ジャパン2006のドイツパビリオン内ナノツールズ社小間でのお手伝い
  • 2006年04月 : セミコン・ヨーロッパ2006ナノツールズ社新製品発表で半導体業界への積極的な売り込み
  • 2005年11月 : 90-70nmノード用CNTライクのM-シリンダカンチレバ発表
  • 2005年03月 : ナノツールズ社は設備更新、業績拡大でより大きく!
  • 2004年06月 : 製品に関するFAQコーナー作成
  • 2004年03月 : イメージカタログ日本語翻訳版完了
  • 2004年01月 : 新資料作成
  • 2003年11月 : ナノツールズ社訪問
  • 2003年02月 : ナノツールズ社と取引開始
  • nanotoolsサポート(製品等に関するFAQ)もご参照ください

    ナノツールズ社ホームページ



    最終更新 : 2012年3月

    商用で来日のnanotools社イルマ社長と東京見物

    2月末に来日し、雪の中の顧客訪問で寒くちょっと疲れたとのことですが、3月3日(土)の週末は晴天となり、宿泊のホテルから皇居東御苑の散策、建築中のパレスホテル横の噴水や、東京タワー、浜離宮恩賞庭園、一部紅梅が咲いていました。茶室での抹茶サービス、さらに隅田川クルーズと1日ゆっくりと冬の太陽の下を散策」しました。完成して春オープンが予定されている東京スカイツリーも見ました。
    Herr Dr. Irmer's Holiday in Tokyo
    Herr Dr. Irmer's Holiday in Tokyo


    最終更新 : 2011年12月

    nanotools社案内及び製品リーフレットの英語版独自に作成

    Leaflet Solutions 2011年のnanotools社HPの更新で製品など変更し、会社方針も従来のリーフレットではかけ離れてしまい、弊社独自で英語版会社案内のリーフレットSolutions(右写真)と製品リストを作成しました。かなり製品も詳細になりました。現在nanotool社イルマ社長に確認してもらっていますので、確認後に日本語版を提供します。

    なお現在の日本でのnanotools社の正式代理店は東陽テクニカ社です。nanotools社HPに日本でのResellerとして掲載されています。

    Reseller in Japan


    上記カタログのご請求はE-mailにてお願いします。




    最終更新 : 2011年2月

    naotech 2011にnanotools社イルマ社長来日、さらにHPも新しくなりました

    with 3 famous AFM Cantilever manufacturers nantools社は従来のHDCオンリのAFMティップからさらに売れ筋を追加して昨年HPを新しくしました。また日本での販売に関しても従来総代理店制ではなく、弊社を始め数社が販売しておりました。しかし昨年7月から販売代理店に株式会社東陽テクニカ社も加わるようになりました。東陽テクニカ社は皆様ご存知のように日本で最初にアメリカDigital Instrument社(当時はDI社で通用しましたが、現在はVeeco社となっています。)のAFMであるNanoscopeの販売で大きな実績を作り、DI社電顕の輸入販売がVeeco社日本法人である日本ビーコ株式会社に移ってからは、AFMカンチレバーで世界一のナノワールド/ナノセンサ社日本総代理店として大きな足跡を残してきています。実はnanotools社イルマ社長から東陽テクニカ社がここにきて日本総代理権を要求してきているとの事で弊社の了承を依頼してきました。もちろん弊社以外にもその要請は必要でしょう。弊社としてはもし必要な時には東陽テクニカ社から購入できるようにお願いして欲しいとの要望を言いました。2011年2月16日から18日の東京ビッグサイトでのnanotech 2011にイルマ社長は来日しその下地を作り、最終的には東陽テクニカ社に日本での販売を任せるようになりました。私は16日の夜、イルマ社長の招待でNanoWorld社マーケティング部長Ms Roessger、Budget SensorsのNikolov社長と会食の機会を頂き、楽しい一時を過ごしました。写真左からイルマ社長、Nikolov社長、一人おいてMs Roessger部長です。なおナノツールズ社HPのResellerを今回更新して日本でのResellerは株式会社東陽テクニカ様になりました。
    nanotools CEO Dr. Irmer nanotools社イルマ社長は日本家具や庭園に非常に興味を持っており、地元ミュンヘンでは在住の日本人の指導で障子の製作をしたことがあるとの事でした。今回の来日では日本のカンナを購入したいとのことで、nantech 2011の合間をぬって、東京駅近くの西勘本店に案内しました。非常に高価な手作りの日本製の本物のカンナを購入しました。




    最終更新 : 2009年12月

    セミコン・ジャパン2009にnanotools社イルマ社長来日

    nantools' CEO Dr. Irmer セミコン・ジャパン2009では今年はドイツパビリオンが無いためにnantools社は出品しませんでしたが日本の動向を知るための見学と日本の顧客訪問で来日しました。夕方からの時間をさいて頂き、食事をしながらいろいろとお話しました。

    なお現在の日本でのnanotools社の正式代理店は弊社を含んで以下の2社です。nanotools社HPにResellerとして掲載されています。
    Reseller in Japan




    最終更新 : 2008年12月

    セミコン・ジャパン2008のドイツパビリオン内ナノツールズ社小間でのお手伝い

    2008年12月3日(水)から5日(金)まで幕張メッセ全体を使って行われた「セミコン・ジャパン2008」の7号館のドイツパビリオンに今年もナノツールズ社が出展しました。但し今回は同時期の12月2日(火)から4日(木)までアメリカのボストン ハイネスコンベンションセンタにて行なわれるMRS(The Materials Research Society)主催の2008 MRS Fall Exhibitに出展するために、イルマ社長とMs マルティンがそちらへ出張のため、弊社単独での小間でのヘルプになりました。今回小間の装飾は一切打合せ済みで、弊社は本年度の新製品リーフレット作成のみを行い小間におきました。なお以前から本見本市にてカンチレバとは何ですか?とか聞かれたりする関係で、オリンパス株式会社様から数枚の写真をいただき合成して「AFMとカンチレバ」と題した小型ポスタを壁面に、メーカポスタと共に貼りました。また説明が複雑になるのを避けるためにリーフレット資料1式をファイルにして小間におきました。そしてファイルの希望者には後日送付することにしました。もちろん専門家対象にはナノツールズ社のイメージリーフレット(以前版の抜粋編集)や2008年製品リーフレットはお持ち帰りいただきました。右上の写真が7号館ドイツパビリオンの受付です。その他は小間の様子です。
    恒例の駐日ドイツ連邦共和国大使館主催のパーティは初日の夜に幕張メッセ隣のホテルニューオータニ幕張の24階宴会場「シリウス」にて行なわれ、ドイツ他社の人々との親睦を深めました
    今回の新製品リーフレットは半導体ファブラインで使用されている「MSS:Metrology Probe SuperSharp」と「M1:Metrology Probe M1」、「SSE:SuperSharp Enhanced」、さらにティップ半径2nmでティプ直径20nmで長さ300-500nmの「M*-CNT:CarbonNanoTip」、また生物・医学用アプリケーションの「BioTOOL:ソフトな窒化シリコンカンチレバに高密度カーボンHDCをSharp CarbonNanoTipで堆積したもの」です。詳細はE-メイルにてお問い合わせ下さい。



    最終更新 : 2008年6月

    Veeco社2007年度アプリケーションノートAN99翻訳済み

    AFMやSPMの大手Veeco社2007年度アプリケーションノートAN99「STIディボット深さのインラインモニタ」の論文には、nanotools社ティップSSL(SuperSharp Long、ちなみにVeeco社型番はTESP SS)を使ってインラインモニタリングの様子が詳細に記述されてあります。しかも2000回以上の長寿命の計測の可能性について言及しています。


    上記翻訳文のご請求はE-mailにてお願いします。




    最終更新 : 2007年12月

    セミコン・ジャパン2007のドイツパビリオン内ナノツールズ社小間でのお手伝い


    2007年12月5日(水)から7日(金)まで幕張メッセ全体を使って行われた「セミコン・ジャパン2007」の7号館のドイツパビリオンにナノツールズ社が出展しました。Msマルティンは前日から来日しました。今回の小間は前回のように大きなバーナーによる背景ではなく、組立て式のため一緒に組立てを行い装飾を終えました。小さな2ケースの入れ物に骨組みと写真が収納されています。ドイツメーカが今年は同じドイツパビリオン内に13社出品しました。恒例の駐日ドイツ連邦共和国大使館主催のパーティは幕張メッセ内のVIP特別会議室で6日の夕方行なわれ、ドイツ他社の人々との親睦を深めました。最終日にはナノツールズ社イルマ社長も来日しいくつかの小間を回り営業を行いました。
    写真上側左からナノツールズ社小間、イルマ社長とマルティンさん、ドイツパビリオン受付です。
    今回新規に改定した日本語リーフレットを持参してきました。以下の4種類です。特にSSSはVeeco社アピリケーションノートAN99に詳細記述されていますがSTIティボットインライン監視用に能力を発揮します。
    詳細は下記4種PDFファイルを参照して下さい。ただし2011年のHP更新で内容が古くなりましたので削除します。

    メトロロジーM1
    高アスペクト比円筒形状MC90/70-MC60
    カーボンナノティップM-CNT
    高分解能SuperSharpShort:MSS

    ナノツールズ社ホームページ




    最終更新 : 2007年10月

    10月2日ナノツールズ社はドイツ本社にて創立10周年を祝いました

    2007年10月2日(火)ドイツ ミュンヘン市内の本社にて世界の代理店を招待して、会社役員・従業員とで会社創立10周年を祝いました。
    あいにく弊社は外せない用務をもち今回は欠席させていただき遠い日本からその10周年を祝いました。





    最終更新 : 2006年12月

    セミコン・ジャパン2006のドイツパビリオン内ナノツールズ社小間でのお手伝い




    2006年12月6日(水)から8日(金)まで幕張メッセ全体を使って行われた「セミコン・ジャパン2006」のホール7のドイツパビリオンにナノツールズ社が出展しました。Msマルティンは前日から来日し小間の製作にも立会いました。そして持参した新製品のティップのバーナーをつるしました。お手伝いとは言ってもマルティンさんが日本人来場者の応対も行い弊社の出番はありませんでした。また初日の夜は駐日ドイツ連邦共和国ハンスヨアヒム・デア大使公邸にドイツパビリオン出展社全員が招待されドイツ料理を楽しんできました。最終日にはナノツールズ社イルマ社長も来日しいくつかの小間を回り営業を行いました。
    写真上側左からドイツパビリオン受付、イルマ社長とマルティンさん、日本人に応対しているマルティンさん。写真下側左からナノツールズ社小間の様子でバックの大きなバーナーは横2m、縦2.5mで、両側の薄緑の縦長のバーナーは新製品ティップを紹介するものでマルティンさんがドイツから持って来ました。真中の写真は大使公邸におけるレセプション前に挨拶するデアドイツ共和国連邦大使、挨拶はドイツ語でしたが個々に日本人とは上手な日本語を駆使していました。出展者と歓談しながら料理を楽しんでいるところ。右に移っている白いお花は蘭です。
    新製品ティップはM-シリンダの直径をさらに細くして20nmとして名前をカーボンナノティップM-CNTとしました。半導体次世代65-40nmノードに対応できます。既に大手の試作ラインで使用されているそうです。これに関連してナノツールズ社サポートも参照してください。
    詳細は下記PDFファイルを参照して下さい。ただし2011年のHP更新後説明リーフレットの形式が変わったために削除します。

    カーボンナノティップM-CNT

    ナノツールズ社ホームページ




    最終更新 : 2006年4月

    セミコン・ヨーロッパ2006ナノツールズ社新製品発表で半導体業界への積極的な売り込み

    Semicon Europa 2006 AFM用カンチレバに高密度カーボン(High Dense Carbon)を堆積しティップを製造するナノツールズ社の現在の主要マーケットは自動AFMを製造ラインで使用している半導体業界です。
    2006年4月4(火)〜6(木)日にドイツ ミュンヘンのトレードフェアセンタにて行われた”セミコン・ヨーロッパ2006”にアモルファスカーボン技術を使った90nm、65nmノード用高アスペクト比の円錐型及びシリンダ型ティップのカンチレバを出品しました。高密度カーボンは高精度、高信頼性で寿命が長く既に数社のラインにて使用されています。4月4日のMEMSフォーラムではイルマ社長が「ナノエレクトニクスリサーチ用AFMティップ」で講演も行いました。
    右の写真は「セミコン・ヨーロッパ2006」ミュンヘン会場の入口です。
    下の写真はセミコン・ヨーロッパ2006でのナノツールズ社小間の様子です。発表した新製品はメトロロジーティップのM-シリンダーとM1です。前者のティップは最小長さ600nm、直径55nmの円筒です。後者は1:7という高いアスペクト比で世界をリードする半導体工場でAFMインラインモニタリングで使用されています。


    nanotool Booth Tip M-Cylinder Tip M1
    上左の写真がメトロロジーティップのM-シリンダーで、上右の写真はM1です。詳細は以下の日本語版PDFファイルを参照して下さい。ただし2011年のHP更新後説明リーフレットの形式が変わったために削除します。

    メトロロジーティップM-シリンダー

    メトロロジーティップM1



    最終更新 : 2005年11月

    90-70nmノード用CNTライクのM-シリンダカンチレバ発表


    Cantilever M-Cylinder



    最終更新 : 2005年3月

    設備更新、業績拡大でナノツールズ社はより大きく!

    昨年ナノツールズ社はドイツ ミュンヘン市内の本社に新しい製造設備等大きく投資しました。増大しつつある顧客のニーズに対処するために、受注から生産・納入までの全事務システムを最新化しました。堆積処理の絶え間ざる改良及び永久の革新と高度な多機能性がナノツールズ社の半導体業界での成功を保証しています。同様に非常に高いイールド率も達成されました。
    写真は本社で社名の前でポーズする社員です。出かけていたりで全員が揃う事はありませんが、イルマ社長は顔を見せています。

    ナノツールズ社全員で会社の目標に到達するよう更なる努力をいたしますので皆様方のサポートとご協力をこれからもよろしくお願い致します。

    nanotools Members


    Official sales agent 最近顧客からカンチレバーについての質問が増えてきています。ナノテク時代の到来とともに電顕を使うユーザーが増え、従来見過ごされてきたカンチレバーにも注目がくるようになったためと思われます。弊社にとり顧客のニーズや質問を得ることが非常に大切です。そしてそれらをナノツールズ社に相談して最適なアドバイスやソリューションを回答するようにしております。
    そしてこのたび弊社は日本での正式な代理店である証明書をイルマ社長よりいただきました。(証明書をクリックすると証明書が大きくなります。)

    弊社にて作成しました"AFMを上手に使うためのプローブ知識"という技術資料も用意されてあります。ご希望の方はE-メイルにてお申し込みください。



    ナノツールズ社ホームページ

    技術資料のご請求はE-mailにてお願いします


    最終更新:2004年3月



    catalogナノツールズ社は今年2004年3月イメージカタログを作成しました。会社方針、製品、顧客への解決法等概略が載っています。日本語版もできました。またAFM計測技術においてこのティップは最高級である旨のレポートの和訳も終わりました。

    catalog


    ナノツールズ社ホームページ

    英文カタログのご請求はE-mailにてお願いします


    最終更新:2004年1月



    4種類の製品
    UniversalHigh AspectSuperSharpSpecial
    ユニバーサル型
    最も万能なタイプで、全てのAFMアプリケーションに適用。
    3種類の長さで剛性、信頼性の標準ティップ
    高アスペクト比型
    傾き調整済みで非常にスリムなティップで深いトレンチ計測に最適。
    0.5µm〜10µmまでの5種類の長さと1:10及び1:40の2種類のアスペクト比
    スーパーシャープ型
    分解能、信頼性、走査速度、ティップ寿命に問題があるとき。
    ティップ半径2-3nmで縦及び横方向の分解能が改善
    特注型
    顧客の形状と仕様に基づき堆積。例えば:
    ティップサイドのメタリックコーティング
    ナノインデンテーション用に半径100nmの半球ティップ

    4種類のソリューション
    SemiconBiotechIndustryR&D
    半導体
    製造ラインのプロセス制御及びイールド・マネージメント。
    深いトレンチ
    マスクの検査
    厳しい寸法
    CMPウェハー平面度
    バイオ/生命科学
    液中のタッピング/コンタクトモードAFM。
    ハイドロフォビック
    生きているDNAの液中での走査
    産業
    高い処理能力と分解能で素晴らしいティップ寿命。
    ラインの粗さ、平面度、品質管理に使用してコストの低減
    研究開発
    新しいアプリケーション用ティップの新規形状、コーティング。
    リソグラフィ
    ナノインデンション
    トライボロジー



    ドイツ ナノツールズ(nanotools)社は高密度カーボン(High Dense Carbon, HDC)製の原子力間顕微鏡(AFM)用のスキャニングプローブ(カンチレバー)のメーカです。ミュンヘン大学のナノサイエンスセンタ(CeNS)からカーボン堆積で任意形状と任意寸法製造の技術を持って1997年にスピンアウトして作られた会社で、SPM用でシリコン製カンチレバーでは世界的に有名ドイツNanosensors社、スイスNanoworld社、日本オリンパス株式会社及びアメリカVeeco社製のカンチレバーにHDCティップを堆積します。
    アプリケーションによるティップの簡単な選択方法やティップの製品リストは下記PDFファイルを参照してください。


    ドイツNanoTOOLS社走査型プローブ顕微鏡(SPM)用HDCチップ輸入・販売
    既に数社に納入済みです。HDCチップは通常のAFMチップとして使用されているAFM専用のシリコンチップでダイアモンドコーティングの物と少なくとも十分比較できますが、さらに高解像度のイメージが得られます。その上顧客仕様の任意の幾何形状(長さで100nmから5µmまで、チップ半径で数nmから数百nmまで、さらにフック型や曲がったものなどのご要求の形状)の探針を作ることができます。ナノメートル単位のものが必要でしたら、HDC材のチップは必ず顧客のご希望にあったものをお届けできます。
    右下写真(走査電圧6KVで5万倍の写真)のようにオプションで納入するカンチレバーチップの拡大証明書もナノツール社特殊SEMにて測定し添付できますので顧客は安心して使用できます。



    カンチレバー(HDCチップ)の簡単選択
    カンチレバー(HDCチップ)のカタログ

    ナノツールズ社ホームページ





    最終更新:2003年12月

    2003年11月末にドイツの4社クロッケ・ナノテクニック社、ラムブレヒト社、カッパ社及びナノツールズ社を訪問してきました。非常に有意義な話し合いを持つことが出来て顧客とのさらなるサポートを充実させていきたいと考えます。

    ナノツールズ社は1997年ミュンヘン大学のナノサイエンスセンタ(CeNS)からスピンオフして創立された会社で、原子力間顕微鏡(AFM)にて使用されるカンチレバーの幾何形状及び機能性を高密度カーボン(HDC)を堆積させて自由に製作できます。

    nanotools日本に限らず昨今はナノテクノロジー全盛の時代で毎年売上を伸ばしており、昨年にはミュンヘン大学のナノサイセンスセンタからミュンヘン市内に越してきました。日本人の観光客に有名な市庁舎のあるマリーエン広場からも歩いて散策できる位置にあります。事務所と製造設備も移設する関係で市内でありながら地下鉄とは数百メートル離れ、ここ地下1階では振動はほとんど感じられません。入口に飾られたナノツールズ社ポスタを前に右がCEOのイルマ博士で左は製造開発担当役員のクリーレさんです。

    現在稼動しているのは製造及び検査設備が各1台ですが、ナノサイエンスセンタにもまだ製造設備は残してあり、さらに来年にはここにももう1台製造設備が入ってきます。現在でもよく使われる標準品はドイツ国内では48時間内の出荷を行なっております。
    会社ロゴとホームページを一新したばかりです。日本でも既に納入されておりますが、さらなる販売拡大を図りたいと思います。


    技術資料(AFM用ティップについて)のご請求はE-mailにてお願いします

    ナノツールズ社ホームページ


    最終更新:2003年2月

    2002年12月 ドイツNanoTOOLS社と折衝開始
    ある顧客からの原子力間顕微鏡(AFM)用チップ引き合いでNanoTOOLS社と接触をはじめ、弊社でも直接輸入出来ることになりました。

    まず始めに ドイツ ナノツールズ社は高密度カーボン(High Density Carbon, HDC)製のSPM用チップの専門メーカです。HDCチップは通常のAFMチップとして使用されているAFM専用のシリコンチップでダイアモンドコーティングの物と少なくとも十分比較できますが、さらに高解像度のイメージが得られます。その上顧客仕様の任意の幾何形状(長さで100nmから5µmまで、チップ半径で数nmから数百nmまで、さらにフック型や曲がったものなどのご要求の形状)の探針を作ることができます。ナノメートル単位のものが必要でしたら、HDC材のチップは必ず顧客のご希望にあったものをお届けできます。

    特長 NanoTOOLSチップはシリコンチップでは世界的に有名なナノセンサー社(2002年11月スイスのNanoworld AGにより買収される)のポイントプローブシリコンセンサや、オリンパス光学工業株式会社のタッピンッグモードエッジドシリコンプローブや、シリコンニトライドプローブ(コンタクトモードや液体中のタッピングモード)を含む各種のカンチレバーに対応できます。
    HDC材料は主にアモルファスカーボンで結合材にC-Cを使用し、硬さはほぼダイアモンドに匹敵しますが、破砕しにくく、かつ単結晶シリコンよりも剛性があります。またAFMアプリケーション用の特別の探針をつくるための旋削もできます。

    他社との長所 
    ¤ 高解像度、高信頼度
    ¤ ダイアモンドのように硬いが弾性がある
    ¤ 破砕しにくい
    ¤ コーン角度を小さくできる
    ¤ 高いアスペクト比
    ¤ 走査面上に直角に補正できる
    ¤ 対酸性
    ¤ ほとんどのカンチレバーと変えられる
    ¤ 顧客の形状がつくれる

    一つの適用例
    深いDRAMのトレンチを一般に市販のシリコンチップで解析した場合
    結果
    チップの側壁が左側が64度、右側が58度と異なっているために底の距離が120nmとなり、実際の形状を表現できない。

    同じ深いDRAMのトレンチをNanoTOOLS社のHDCメトロロジーAFMチップにて解析した場合
    結果
    チップの側壁が両側とも85度となっているために底の距離が長い180nmとなり、実際の形状をほぼ表現している。


    ナノツールズ社ホームページ