アキ・アルテック株式会社情報「クロッケ・ナノテクニック社の詳細」


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最終更新 : 2003年2月(2002年9月)

2002年9月 Klocke Nanotechnik社ナノモータからの発展

まず始めにピエゾ素子は電圧をかけることによりナノメートルの範囲で伸び、そして超精密位置決めの基礎となっています。この場合の欠点は数マイクロメートルに制限される移動量です。もしミリメートル単位での移動量が要求される場合には、粗位置決め用に別の駆動装置を設けなくてはいけません。クロッケ・ナノテクニック社が特許を持っている'Nanomotor'®はミリメートル単位の移動量を原子単位の精密さで行える、このタイプでは最小の位置決め装置です。'ナノモータ'®は全く新しいリニアモータでミリメートル単位の移動量を有しながら、ピエゾアクチュエータと同等の精度をもっています。そしてその非常に小さい形からマイクロ及びナノテクノロジ分野での移動において各種の解決策を導いてくれます。
特にここにきて非常に重要が伸びているSPM(Scanning Probe Microscopy、走査型プローブ顕微鏡)で、いろいろなアプリケーションが見つけ出されています。

SPM(走査型プローブ顕微鏡)'ナノモータ'®応用で製作された各種の製品は走査型プローブ顕微鏡では非常に役にたつものばかりです。それらはセンサをナノメートルの精度で動かしたり、またはサンプルを同じ精度で動かします。'Nanomotor'®は走査型プローブ顕微鏡でにおいて2つの大きな問題を解決できる完全はツールです。
1)どのようにセンサをサンプルに近づけますか?
2)グラナイト製のテーブルなしにこのようなことが出来ますか?
さらにスキャニングヘッドのセンチメートルにおよぶストロークもこの'ナノモータ'®の粗ステップで解決し、同時にセンサが構成上のツールにもなります。下記の3つの例はクロッケ・ナノテクニック社の製品を使って全て実現化できます。
左から超小型STM、AFM、SNOMです。
Mini-STMAFMSNOM

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日本での納入先電子顕微鏡関連では名古屋大学、大阪大学、東京工業大学、(独)物質・材料研究機構と受注・納入済みで、ここにきて大学や官庁研究機関を問わずさらに引き合いが増えています。この他クロッケ・ナノテクニック社オリジナルのマニピュレータも民間の会社に納入しました。

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